Title: Abteilung Plasmatechnik des Fraunhofer Institutes für Lasertechnik (Frauenhofer ILT)
Description: Die Forschungsschwerpunkte sind: Strahlquelle für die EUV-Lithographie, Entkeimung mit Atmosphärendruckplasmen und Untersuchung eines Plasmazündsystems für DI-Ottomotoren.